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반도체 제조에 필요한 ‘불화수소’는 무엇인가요? 목록



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RE : 반도체 제조에 필요한 ‘불화수소’는 무엇인가요?

호기심지* 2020-03-18

반도체 식각 과정에 쓰이는 산은 강할수록 높은 세정률을 보이기 때문에 불화수소산도 매우 농도가 높은 용액으로 사용합니다. 플루오린화수소라고도 불리는 불화수소는 끓는점이 19.5℃로 상온에서 기체로 존재하기 때문에 기체 상태로 안정하게 보관하는 데에 어려움이 있는데요. 특히, 상태적인 불안 요소 외에 불화수소는 유리를 녹일 정도로 강력하기 때문에 특수 용기에만 보관해야 한답니다. 




이 불화수소는 누출 시에 극히 위험하며, 불이 나기 쉽고, 자극적입니다. 반응성도 매우 높아 인체에도 해로운 극독성 물질이지요. 또한 수소결합을 하고 있기 때문에 물에도 잘 녹아 피해가 확산되기 쉬우며, 인체에 깊이 침투합니다. 따라서 굳이 누출되지 않더라도 작업자는 반도체 식각 과정에서 불산, 황산 등의 산이나 염기에 접촉하여 화상을 입는 위험성에 노출되기 쉽습니다. 불산에 의한 화상은 침투성이 높아 증상이 천천히 퍼지면서 전신 독성이 나타날 수 있기에 더욱 안전에 유의해야 하지요.





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