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슈퍼 실리콘 웨이퍼를 개발한 마법사 목록

조회 : 1350 | 2003-12-19

성함
박재근
전문분야
전기/전자 관련
직장직무
한양대, 공과대학 전자전기컴퓨터공학부 교수
직업/업무
한양대학교에서 관련 분야의 연구를 담당하고 있으며, 학생들을 지도 합니다.
경력
1985년 동아대학교 전자공학과 학사 1998년 한양대학교 전자공학과 석사 1994년 미국 노스캐롤라이나 대학교 재료공학과 박사 1985~1998년 삼성전자 반도체 기흥 소재기술그룹 부장 1999년 한양대학교 교수
QST : 현재 진행중인 연구분야는 어떤 것들이 있나요?
ANS: 저희 연구소에서는 미래형 차세대 반도체 개발을 위하여 다음과 같은 기술 개발 연구를 하고 있습니다. 1) 반도체 생산에 적용되는 첨단 나노 소재 및 공정 개발 a. 차세대용 나노 SOI (Silicon On Insulator) 공정 기술 개발 b. 금속 및 절연체층 평탄화 연마에 적용되는 Slurry (연마제) 개발 c. CMP(Chemical and Mechanical Polishing-화학적 기계적 연마) 공정 기술 개발 d. 결정 결함이 없는 300mm 직경의 실리콘 성장 기술 개발 e. 300mm 실리콘 웨이퍼 반도체 표면에 존재하는 금속 오염 이온을 제거 시킬 수 있는 " Gettering" 기술 개발 2) 차세대 첨단 반도체 소자 개발 a. 전자 (Electron)의 이동도를 높이는 Strained(변위층) 실리콘 구조 개발 b. 차세대 반도체 공정 및 반도체 소자 특성 시물레이션 프로그램 개발 3) FIB (Focused Ion Beam) 를 이용한 나노 Scale의 구조 제작 및 결함 분석 기술 개발 4) 전자 종이 개발을 위한 Flexible 및 Transeparent (휘어질수 있고 투명한) Silicon Display 개발


QST : 어떻게 반도체에 관심을 가지게 되셨나요?
ANS: 중학교 시절 눈에 보이지 않는 전기 및 전자의 흐름에 호기심을 갖고 근본 원리에 대하여 관심을 가진 것이 반도체 연구로 이어졌습니다.


QST : 반도체 분야의 연구를 위해 어떤 것들을 준비,공부해야 할까요?
ANS: 우선 수학공부를 열심히 해야 할 것입니다. 고교 과정의 적분, 미분, 삼각함수 단원은 반도체와 직간접적으로 관련이 되어 있습니다. 물론 과학에 대한 지식도 필요하지요. 과학을 이해하기 위해 과학 원리가 담긴 서적을 많이 읽어봐야 합니다.


QST : 학창시절 좋아했던 과목은요? 이 일을 하는데 도움이 되셨나요?
ANS: 저는 수학을 좋아했었습니다. 수학은 과학의 원리를 수식으로 표현 할 수 있는 매개체이므로 이공계의 필수적 도움이 되는 학문입니다.


QST : 연구하시면서 가장 보람될 때는 언제이세요?
ANS: 남들이 불가능 하다고 생각하는 것을 제 자신만이 가능 하다는 신념을 갖고 시행착오를 거쳐 개발에 성공 할 때 가장 보람을 갖습니다.


QST : 도전하고 싶은 일, 연구분야는요?
ANS: 크게는 두가지 목표가 있습니다. 첫째는 미래형 차세대 반도체를 개발하는 것이고, 둘째는 전자 종이를 개발하는 것이지요.


QST : 이 분야에 관심을 가진 청소년을 위해 한 말씀 부탁드려요.
ANS: 일상생활에서 접하는 과학에 대하여 원리가 무엇인지 궁금증과 호기심을 가지고 그것을 알고자 하는 자신의 꾸준한 노력이 필요합니다. 과학의 원리에 대한 궁금증이 풀릴때 자신의 실력이 쌓여 가는 것이기 때문에, 과학의 원리에 관련된 책을 많이 읽으세요.


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